湖北晟皓:年產(chǎn)1.5萬噸電子級(jí)硅烷氣項(xiàng)目奠基開工
近日,由中國化學(xué)十六化建承建的湖北晟皓年產(chǎn)1.5萬噸電子級(jí)硅烷氣項(xiàng)目在湖北省宜昌市奠基開工。項(xiàng)目建設(shè)將推動(dòng)我國半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)的自主創(chuàng)新與發(fā)展,加速實(shí)現(xiàn)國家半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)邁向國產(chǎn)替代、高端化、自主化。
該項(xiàng)目采用歧化法生產(chǎn)工藝,建設(shè)包括冷氫化裝置、精餾歧化裝置、廢氣廢水處理系統(tǒng)等核心設(shè)施,打造年產(chǎn)1.5萬噸高純度硅烷氣生產(chǎn)線,同步生產(chǎn)電子級(jí)多晶硅、四氯化硅、二氯二氫硅等關(guān)鍵材料。項(xiàng)目生產(chǎn)的高純度硅烷氣是半導(dǎo)體芯片制造的核心基礎(chǔ)材料。項(xiàng)目全面投產(chǎn)后將有效緩解我國電子級(jí)硅烷氣長期依賴進(jìn)口的被動(dòng)局面,滿足國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的需求,為“中國芯”戰(zhàn)略注入強(qiáng)勁動(dòng)力。
資訊來源:中國化學(xué)